适用于半导体、光伏等各个行业应用。
长飞石英公司应用多种合成及熔融工艺，采用SiCl４,有机硅烷和高品质天然石英砂，基于自主工艺制造的各类合成和电熔石英锭，可满足半导体、光伏、工业等泛半导体行业,对石英材料理化特性与光学性能的严苛要求，为客户提供材料性能优异、稳定、可定制化的大尺寸石英材料及产品。
| 杂质含量ppb | Li | Na | K | Mg | Ca | Cu | AI | Cr | Fe | Ti |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
YS-1220 |
≤0.001 | ≤0.003 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.003 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.005 |
|
YS-2230 |
≤0.001 | ≤0.005 | ≤0.005 | ≤0.005 | ≤0.005 | ≤0.001 | ≤0.005 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.008 |
注：采用ICP-MS法测定，表中数据为典型值
| 产品 | 型号 | 典型尺寸 (mm) | 产品特点：合成石英材料 | |
|---|---|---|---|---|
| 石英部件用 | 光学部件用 | |||
| 低OH合成石英锭 | YS-1220 | YS-1320 | φ350xH50/φ450xH45 |
|
| 合成石英锭 | YS-2230 | YS-2330 | 330x330x40/500x500xH50/ 1200x850x50 |
|
| 杂质含量 ppm |
Al | B | Ca | Co | Cr | Cu | Fe | K | Li | Mg | Mn | Na | Ni | Ti | OH |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
YE-3234 |
≤13 | ≤0.1 | ≤1.0 | ≤0.06 | ≤0.03 | ≤0.5 | ≤1.0 | ≤0.9 | ≤0.5 | ≤0.62 | ≤0.06 | ≤1.0 | ≤0.27 | ≤2.2 | ≤20 |
| 产品 | 型号 | 典型尺寸 (mm) | 应用领域 | 产品特点 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 电熔石英锭 | YE-3234 | φ1900xH500 | 半导体、光伏、工业等 | 纯度高，OH含量及气泡率低，耐高温性能好 | |
可根据客户需求，定制加工各种规格石英部件
| 参数 | 单位 | 合成石英类 | 电熔石英类 |
|---|---|---|---|
| 密度 | g/cm3 |
2.20 |
2.20 |
| 莫氏硬度 | - |
7 |
6~7 |
| 杨氏模量 | GPa | 72.80 | 70 |
| 剪切模量 | GPa |
31.22 |
30 |
| 泊松比 | - |
0.17 |
0.17 |
| 抗压强度 | GPa |
1.13 |
1.13 |
| 抗拉强度 | MPa |
49 |
49 |
| 弯曲强度 | MPa | 94.3 | 94 |
| 参数 | 单位 | 电熔石英YE系列 | 合成石英YS-1220 | 合成石英YS-2230 |
|---|---|---|---|---|
| 应变点（η=1014.5dPa·s） | °C | 1100 | 1070 | 1000 |
| 退火点（η=1013dPa·s） | °C | 1210 | 1200 | 1160 |
| 软化点（η=107.6dPa·s） | °C | 1720 | 1680 | 1620 |
| 热膨胀系数 | ||||
| 20~100°C | ×10-6/°C | 0.49 | 0.49 | 0.49 |
| 20~300°C | ×10-6/°C | 0.55 | 0.55 | 0.55 |
| 20~600°C | ×10-6/°C | 0.54 | 0.54 | 0.54 |
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