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电熔石英材料

适用于半导体、光伏等行业应用。

长飞公司采用高品质天然石英砂,基于自主工艺制造的电熔石英锭,可满足半导体、光伏、工业等行业对石英材料的严苛要求,为客户提供材料性能优异、稳定、可定制化的大尺寸石英材料及产品。

产品 型号 典型尺寸 (mm) 应用领域 产品特点
石英圆锭 YE-3234 / YE-3235 φ2000x300 半导体、光伏、
工业等

纯度高,OH含量及气泡率低

耐高温性能好

石英筒 YP-3234 / YP-3235 φ400x50

*可根据客户需求,定制加工各种规格石英部件 

 

 

长飞半导体用石英-典型的微量杂质含量(ppm)
杂质含量
ppm
Al B Ca Co Cr Cu Fe K Li Mg Mn Na Ni Ti OH

YE-3234

12 <0.10 0.1 <0.01 <0.01 0.01 0.06 0.2 0.4 <0.01 0.01 0.4 <0.01 1.2 <10

YE-3235

8 <0.05 0.7 - <0.01 0.002 0.2 0.1 0.2 0.07 0.008 <0.1 0.002 1.4 <10

YP-3234

12 <0.10 0.1 <0.01 <0.01 0.01 0.06 0.2 0.4 <0.01 0.01 0.4 <0.01 1.2 <5

YP-3235

8 <0.05 0.7 - <0.01 0.002 0.2 0.1 0.2 0.07 0.008 <0.1 0.002 1.4 <5

 

 

机械性能
参数 单位 测试结果
密度 g/cm3

2.20

莫氏硬度 -

7

杨氏模量 GPa

74.20

剪切模量 GPa

31.22

泊松比 -

0.17

抗压强度 GPa

0.113

抗拉强度 MPa

49

弯曲强度 MPa

94.3

 

 

电学性能
参数 单位 测试结果
介电常数(20°C, 500MHz) - 3.90
电阻率(20°C) Ω·cm 0.1*1018
介电损耗角度(tanδ, 500MHz) - <0.001
电阻 Ω 8.0*1015

 

 

热学性能
参数 单位 测试结果
应变点(η=1014.5dPa·s) °C 1100
退火点(η=1013dPa·s) °C 1210
软化点(η=107.6dPa·s) °C 1680
热膨胀系数
20~100°C ×10-6/°C 0.49
20~300°C ×10-6/°C 0.55
20~600°C ×10-6/°C 0.54

 

 

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